简介： 本发明涉及一种用于精确定位大尺寸器件的小缺陷失效地址的方法，所述方法包括如下步骤：步骤一，将有缺陷的样品处理到钨栓塞层，使用扫描电镜观察存在缺陷的区域器件表面结构；步骤二，扫描电镜记录大尺寸器件栅极/源极/漏极/衬底的表面电压衬度；步骤三，使用纳米点针台对大尺寸器件栅极和源极/漏极的两端进行电流量测，得到测量电流数据；步骤四，通过对比各测量电流数据，取电流最大的一组作为存在小缺陷失效地址。本发明用于精确定位大尺寸器件的小缺陷失效地址的新方法，能够克服传统分析方法在含有小缺陷的大尺寸器件精确定位中的困难，使得小缺陷的大尺寸器件失效位置的定位更加精确，便捷。