简介： 本发明提供了一种SRAM失效在线测试方法，包括：获取晶圆图像，图像包括多个SRAM的图形；对图像进行处理，获取SRAM图形的特征值；通过特征值提取相邻图形之间的最小距离；若最小距离小于阈值，则判断SRAM已失效。在本发明提供的SRAM失效在线测试方法中，通过获取SRAM的图形，对SRAM图形的处理提取SRAM图形的特征值，根据特征值判断相邻的SRAM图形的间距，从而判断相邻的SRAM图形是否有短路连接。本发明实施例提供的SRAM失效在线测试方法可以在线判断SRAM是否短路，实时识别晶圆是否出现不良，减少晶圆不良品的判断的时间，提高工作效率，提升晶圆的良率。