简介： 本发明公开了一种结合实体坐标的位失效侦测方法，在此方法中先取得一晶圆对位检测数据，其包括一晶圆内每一层的缺陷的影像和此缺陷的实体坐标；然后，进行一位失效侦测步骤，以得到晶圆内失效位的数字坐标，并转换此数字坐标为实体位置，且将实体位置重叠于实体坐标，以便快速得到失效位与缺陷之间的关联性。