简介： 一种监测真空泵失效的装置和方法、真空度感测器,所述真空泵通过管道与目标装置连接,所述监测真空泵失效的装置包括:真空度感测器,置于所述管道内,在所述管道内的真空度大于预定真空度值时,所述真空度感测器阻挡光透过;激光发射单元和激光探测单元,分别置于所述真空度感测器的两侧,所述激光探测单元探测所述激光发射单元发射的激光;控制单元,在所述激光探测单元未探测到激光时,判定所述真空泵失效。当目标装置为传送腔时,避免由于在传送腔内传送硅片时,真空泵失效时,传送腔内的真空度不符合要求,从而导致硅片被玷污,造成在后段工艺中形成的金属互连线断开或短路的现象。