简介： 本发明公开了一种监测器件的低工作电压失效的测试方法，涉及半导体领域。该方法为：建立多个测试结构，所有的所述测试结构的结构均相同；在每个所述测试结构上均放置有宽度不同的遮盖板；对所有的所述测试结构进行离子掺杂，被遮盖板覆盖的区域不能进行离子掺杂，能进行离子掺杂的区域为所述测试结构的工作区间；同时测试所有所述测试结构的饱和电流和工作电压，根据测试结果获取所述测试结构所对应的工作区间是否存在是失效，从而获取器件的低工作电压是否失效。该方法能够快速确认低工作电压是否存在失效现象；批量快速找出制程在该类问题的工作区间，缩短了制程开发周期，有效节约了开发成本。