简介： 本发明公开了一种电容短路失效的定位检测方法，包括：获取失效电容的初始电阻；对失效电容进行无损检测并判断是否存在缺陷；若存在则存储检测图像并记录缺陷的形态和位置；制备失效电容的金相样品；对金相样品进行磨抛并定时观察剖面状态，判断剖面中是否存在与检测图像对应的缺陷；若是则停止磨抛，否则继续磨抛直到找到与检测图像对应的缺陷；获取金相样品的结果阻值，判断阻值变化率是否超过预设的变化率阈值，若超过预设的变化率阈值，则此处缺陷为引起电容失效的缺陷；若没有超过预设的变化率阈值，则返回磨抛过程继续磨抛，直到找到引起电容失效的缺陷。所述电容短路失效的定位检测方法能够提高电容失效定位检测的效率和准确性。