简介:
本发明公开了一种振镜失效检测方法及装置,在待测振镜振动过程中向待测振镜投射出光,获取待测振镜的反射光形成的图像;根据图像获得待测振镜的失效检测结果。与现有技术相比,本发明避免了由检测人员评判振镜是否失效,受检测人员的主观性影响小,并且能够提高检测效率。
本发明公开了一种振镜失效检测方法及装置,在待测振镜振动过程中向待测振镜投射出光,获取待测振镜的反射光形成的图像;根据图像获得待测振镜的失效检测结果。与现有技术相比,本发明避免了由检测人员评判振镜是否失效,受检测人员的主观性影响小,并且能够提高检测效率。