检测半导体晶片上局部失效的测试方法
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检测半导体晶片上局部失效的测试方法
来源：北方有色网
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简介： 本发明公开了一种用于测试包括半导体芯片的晶片的方法。与晶片上过滤失效半导体芯片的空间相关组相关地确定晶片是否有缺陷,其中所述空间相关组对应于晶片上的局部失效且用来计算缺陷指数值。
本发明公开了一种用于测试包括半导体芯片的晶片的方法。与晶片上过滤失效半导体芯片的空间相关组相关地确定晶片是否有缺陷,其中所述空间相关组对应于晶片上的局部失效且用来计算缺陷指数值。
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标签：失效分析
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