红外焦平面探测器像元失效检测方法
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红外焦平面探测器像元失效检测方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种红外焦平面探测器像元失效检测方法,所述检测方法包括:将待测红外焦平面探测器倒置在测试杜瓦中,使所述待测红外焦平面探测器的芯片与测试杜瓦的冷头相对。根据本发明提出的检测方法,能够在红外焦平面探测器各个工艺步骤对红外焦平面探测器进行像元失效分析。
本发明公开了一种红外焦平面探测器像元失效检测方法,所述检测方法包括:将待测红外焦平面探测器倒置在测试杜瓦中,使所述待测红外焦平面探测器的芯片与测试杜瓦的冷头相对。根据本发明提出的检测方法,能够在红外焦平面探测器各个工艺步骤对红外焦平面探测器进行像元失效分析。
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标签:失效分析
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