简介： 器件多余物微粒碰撞检测装置的振动台负反馈失效检测系统及其检测方法，涉及器件多余物检测技术领域。本发明是为了解决现有的器件多余物微粒碰撞检测装置振动台负反馈失效时会产生过大的振动加速度，可能会振落或振飞振动台面上的被测件，造成周围的设备或工作人员受到损害的问题。先是根据振动台不同的振动频率选取失效检测所需的阈值；再次，在振动台运行时，根据所述阈值判断所述装置的所述振动台负反馈是否失效，如果失效则拉低驱动器的驱动信号，使振动台停止振动。它用于消除了振动台负反馈失效后振动台台面撞底的现象。