晶片的获取方法及半导体器件的失效分析方法
首页 企业 产品 技术 资讯 图库 视频 需求 会议 活动 产业
晶片的获取方法及半导体器件的失效分析方法
来源:北方有色网
访问:920
简介: 本申请实施例公开了一种晶片的获取方法及半导体器件的失效分析方法,其中,所述晶片的获取方法包括:在半导体器件中的至少两个堆叠的封装晶片中,确定出目标晶片;采用第一去除工艺,对位于所述目标晶片第一侧的封装晶片进行去除处理,并保留与所述目标晶片第一侧相邻的封装晶片的部分结构作为牺牲层,以覆盖所述目标晶片的第一侧;采用刻蚀工艺去除所述牺牲层;采用第二去除工艺,对位于所述目标晶片第二侧的结构进行去除处理,直至暴露出所述目标晶片第二侧的表面为止,以获取到处理后的目标晶片,其中,所述第一侧和所述第二侧为所述目标晶片沿堆叠方向的两侧。
本申请实施例公开了一种晶片的获取方法及半导体器件的失效分析方法,其中,所述晶片的获取方法包括:在半导体器件中的至少两个堆叠的封装晶片中,确定出目标晶片;采用第一去除工艺,对位于所述目标晶片第一侧的封装晶片进行去除处理,并保留与所述目标晶片第一侧相邻的封装晶片的部分结构作为牺牲层,以覆盖所述目标晶片的第一侧;采用刻蚀工艺去除所述牺牲层;采用第二去除工艺,对位于所述目标晶片第二侧的结构进行去除处理,直至暴露出所述目标晶片第二侧的表面为止,以获取到处理后的目标晶片,其中,所述第一侧和所述第二侧为所述目标晶片沿堆叠方向的两侧。
0
0
0
0
0
         
标签:失效分析
广州铭谦选矿设备有限公司宣传
广州铭谦选矿设备有限公司宣传
相关技术
评论(0条)
200/200
牛津仪器科技(上海)有限公司宣传
发布
技术

顶部
北方有色网-互联网服务平台-关于我们
Copyright 2025 China-mcc.com All Rights Reserved
备案号:京ICP备11044340号-3
电信业务经营许可证编号:京B2-20242293
京公网安备 11010702002294号