简介： 本发明公开一种基于故障物理的功率电子器件失效分析方法，应用于可靠性领域，通过采用文献调研和实物观察初步确立功率电子器件的失效部位范围，缩小研究目标；通过分析功率电子器件内部结构，设计等效电路；通过改变部分参数分析功率电子器件外特性对功率电子器件模型参数变化的敏感程度，找出显著影响器件动态特性的主导参数，从而找出关键失效部位；建立功率电子器件三维模型，并采用COMSOL仿真对三维模型进行耦合分析；相比现有的其他方法，本发明方法能得出更为准确的分析结果。