芯片失效分析方法、装置、电子设备及介质
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芯片失效分析方法、装置、电子设备及介质
来源:北方有色网
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简介: 本申请提供一种芯片失效分析方法、装置、电子设备及介质。该方法在获取第一状态的热熔蜡后,第一状态为软化状态,采用预设嵌入方式,将待研磨样品嵌入第一状态的热熔蜡的一侧,并对第一状态的热熔蜡的另一侧进行塑型,得到第一状态的研磨体;研磨体中待研磨样品保持水平;基于第一状态的研磨体,获取第二状态的研磨体,第二状态为凝固状态;在固定第二状态的研磨体上塑型的热熔蜡后,对研磨体中的待研磨样品进行研磨,得到待分析芯片;对待分析芯片进行失效分析,得到分析结果。该方法提高了研磨稳定性和安全性,也提高了失效分析效率。
本申请提供一种芯片失效分析方法、装置、电子设备及介质。该方法在获取第一状态的热熔蜡后,第一状态为软化状态,采用预设嵌入方式,将待研磨样品嵌入第一状态的热熔蜡的一侧,并对第一状态的热熔蜡的另一侧进行塑型,得到第一状态的研磨体;研磨体中待研磨样品保持水平;基于第一状态的研磨体,获取第二状态的研磨体,第二状态为凝固状态;在固定第二状态的研磨体上塑型的热熔蜡后,对研磨体中的待研磨样品进行研磨,得到待分析芯片;对待分析芯片进行失效分析,得到分析结果。该方法提高了研磨稳定性和安全性,也提高了失效分析效率。
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