简介： 一种制备失效分析样品的方法,包括:提供样品,所述样品包括待分析结构,所述样品具有第一表面,所述第一表面暴露出待分析结构;在所述第一表面上形成第一预定厚度的重金属层;在形成第一预定厚度的重金属层后,将所述样品一分为二,选择其中之一作为待分析样品,所述待分析样品具有与所述第一表面相邻的第二表面,所述第二表面暴露出所述待分析结构;在所述待分析样品的第二表面上形成第二预定厚度的重金属层;所述重金属层的材料选自金、铂或者铬。在对该方法制备的样品进行失效分析时,基本能消除引起低介电常数材料、超低介电常数材料引起变形的因素,可以保持样品原状,提供有效的分析数据。