简介： 本发明提出一种集成电路的失效分析方法及系统，通过对集成电路进行电性测试，并获取第一电性测试数据，然后对所述集成电路进行电荷陷阱消除处理，对所述集成电路进行电性测试，并获取第二电性测试数据，若所述第一电性测试数据与所述第二电性测试数据的差异超过预设范围，则判定所述集成电路是由电荷陷阱引起的失效。