简介： 本申请公开了一种晶硅太阳能电池的失效分析方法，包括测试失效的晶硅太阳能电池的第一性能；去除所述晶硅太阳能电池的正面和背面的金属，露出减反射膜层和钝化层，测量此时电池的第二性能，包括光学性能、电学性能和所述减反射膜层的厚度；去除所述晶硅太阳能电池的正面和背面的减反射膜层和钝化层，露出扩散层，测量此时的第三性能；去除所述晶硅太阳能电池的正面和背面的扩散层，测量此时电池的第四性能；根据所述第一性能、所述第二性能、所述第三性能和所述第四性能分析出电池失效原因。上述方法能够对电池进行层层剖析，细节到针对每环工序去查找电池片低效的原因，达到量产增效的目的。