简介： 本发明公开了一种微光显微镜芯片失效分析方法,利用硬件描述语言开发芯片测试激励;用软件对芯片测试激励进行仿真,仿真正常后将芯片测试激励烧入FPGA基板;FPGA基板输出多个激励pattern输出到待分析芯片的多个引脚,使待分析芯片电路进入故障激发模式;通过微光显微镜捕捉亮点,最后对亮点进行电路分析和失效分析。本发明还公开了一种微光显微镜芯片失效分析系统。本发明的微光显微镜芯片失效分析方法及系统,能实现多通道复杂测试向量施加,实现微光显微镜芯片缺陷定位,降低了芯片失效分析成本并提高分析效率。