简介： 公开了一种失效分析装置，包括：置物台，用于固定待检测芯片；测试台，包括光源，用于对所述待检测芯片进行抓点测试，其中，所述光源产生红外脉冲激光，所述红外脉冲激光能穿透所述待检测芯片的衬底。本申请的失效分析装置，采用能穿透所述待检测芯片的衬底的红外脉冲激光作为光源，提高了正面和背面抓点的准确性，同时提高了存储层的失效点定位的准确性。