渗剂发生器
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渗剂发生器
来源:北方有色网
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简介:
本实用新型提供一种渗剂发生器,包括从里到外配套设置的反应罐,加热层,保温层和渗剂发生器外壁,和设于反应罐顶部开口端的密封盖,以及设于反应罐内部的布风板;密封盖贯穿固定有测温管道和气源导入管道;反应罐内部设有布风板,布风板横截面尺寸与反应罐横截面尺寸匹配;反应罐底部开口端与外界连通。本实用新型解决了化学气相沉积法制备渗铝或铝和其它元素共渗涂层所需气态渗剂的制备问题,并提供了制备气态渗剂所需的渗剂发生器的结构设计方案。
本实用新型提供一种渗剂发生器,包括从里到外配套设置的反应罐,加热层,保温层和渗剂发生器外壁,和设于反应罐顶部开口端的密封盖,以及设于反应罐内部的布风板;密封盖贯穿固定有测温管道和气源导入管道;反应罐内部设有布风板,布风板横截面尺寸与反应罐横截面尺寸匹配;反应罐底部开口端与外界连通。本实用新型解决了化学气相沉积法制备渗
铝
或铝和其它元素共渗涂层所需气态渗剂的制备问题,并提供了制备气态渗剂所需的渗剂发生器的结构设计方案。
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标签:化学分析
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