大气压介质阻挡辉光放电等离子体发生装置
来源:北方有色网
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简介:
本实用新型公开了一种大气压介质阻挡辉光放电等离子体发生装置,该装置包括一个充满常压空气的腔体,腔体上有进气口和出气口;腔体内固定有两个平行的金属圆盘电极,其中一个是动电极,另一个为静电极,每个电极的内表面均覆盖有聚合物材料的阻挡介质,并在金属圆盘电极与阻挡介质之间放入金属筛网,两边阻挡介质之间保持一定的空气间隙,静电极固定在腔体的一侧盖板上,动电极与一个螺旋测微计连接。本实用新型可以利用介质阻挡放电的形式实现常压空气中工频电压作用下的均匀辉光放电等离子体,实现简单,成本低,可靠性高,可用于材料改性、废气处理、臭氧合成及放电光源等等离子体物理和化学领域。
本实用新型公开了一种大气压介质阻挡辉光放电等离子体发生装置,该装置包括一个充满常压空气的腔体,腔体上有进气口和出气口;腔体内固定有两个平行的金属圆盘电极,其中一个是动电极,另一个为静电极,每个电极的内表面均覆盖有聚合物材料的阻挡介质,并在金属圆盘电极与阻挡介质之间放入金属筛网,两边阻挡介质之间保持一定的空气间隙,静电极固定在腔体的一侧盖板上,动电极与一个螺旋测微计连接。本实用新型可以利用介质阻挡放电的形式实现常压空气中工频电压作用下的均匀辉光放电等离子体,实现简单,成本低,可靠性高,可用于材料改性、废气处理、臭氧合成及放电光源等等离子体物理和化学领域。
标签:化学分析
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