简介： 本实用新型公开了一种钛合金表面改性的等电位针状阴极辉光放电发生装置，包括空心罩体，空心罩体内设有两列阵列式针状阴极，空心罩体放于底板上，底板置于直流脉冲渗金属设备的阴极架上；空心罩体、底板及阴极架共同置于直流脉冲渗金属设备的腔体内，直流脉冲电源的负极与阴极架连接，直流脉冲电源的正极与腔体连接并接地；空心罩体的一侧开有圆孔，腔体的侧壁对应圆孔的部位设有透明窗，正对透明窗的部位设有红外测温仪；腔体的下壁设有进气口和出气口。可以在低于钛合金相变温度的条件下，对钛合金进行表面合金化的等电位针状阴极辉光放电，在提高钛合金表面物理、化学性能的同时，保证基体材料获得良好的综合力学性能。