用于减少缺陷的抛光组合物及其使用方法
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用于减少缺陷的抛光组合物及其使用方法
来源：北方有色网
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简介： 本申请涉及用于减少缺陷的抛光组合物及其使用方法。化学机械抛光组合物包含磨料、第一去除速率增强剂和水，其中当使用0.2μm的面元尺寸测量时，抛光组合物对于以下关系具有小于800000的值：大颗粒计数/磨料重量百分比。
本申请涉及用于减少缺陷的抛光组合物及其使用方法。化学机械抛光组合物包含磨料、第一去除速率增强剂和水，其中当使用0.2μm的面元尺寸测量时，抛光组合物对于以下关系具有小于800000的值：大颗粒计数/磨料重量百分比。
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标签：化学分析
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