简介： 基于中空AFM探针定域电沉积的增材制造装置及方法，属于增材制造技术领域，包括隔振系统、增材制造装置主体、清洗缓冲液单元、精密定位系统、监测系统以及电极单元，本发明利用中空AFM探针定域电沉积技术可以实现金属微结构无掩模高定域性沉积，通过AFM悬臂的高精度力控制技术解放了Z轴高定位精度的压力，解决了高移动位移精度与防治堵塞和短路的耦合矛盾，真正意义上实现亚微米级金属三维悬臂结构的正向微增材制造，通过定域电化学技术整合微流体技术与AFM探针技术，完成电场定域性向给液定域性的转变，改变了无限缩小阳极尺寸的不切实际的想法，从而更加容易的实现了高定域性沉积。