简介:
本发明公开了一种厚度在1微米以上的锇膜及其制造方法。该方法通过在玻璃基片上用PVD法镀铬膜,再在铬膜上用PVD法镀一层导电系数高、化学稳定性好的金膜,然后在金膜上电镀锇膜而成。电镀分次进行、从而使锇膜厚度达到1微米以上。本发明的锇膜可用于制备空间原子氧环境探测器,解决了传统的PVD方法淀积锇膜容易发生开裂现象以及锇层镀不厚问题。
本发明公开了一种厚度在1微米以上的锇膜及其制造方法。该方法通过在玻璃基片上用PVD法镀铬膜,再在铬膜上用PVD法镀一层导电系数高、化学稳定性好的金膜,然后在金膜上电镀锇膜而成。电镀分次进行、从而使锇膜厚度达到1微米以上。本发明的锇膜可用于制备空间原子氧环境探测器,解决了传统的PVD方法淀积锇膜容易发生开裂现象以及锇层镀不厚问题。