简介： 本发明公开了一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器及其制备方法，属于微电子机械系统气体传感器技术领域，其目的在于提出一种传感器，通过以金属氧化物纳米粒子作为催化媒介减小石墨烯薄膜对气体响应时气体分子电子转移的化学势垒，从而增强单一石墨烯薄膜的气体敏感特性。本发明基于石墨烯材料优异的气体敏感特性，在叉指电极上优先沉积一层纳米级的金属氧化物粒子，再沉积石墨烯薄膜层，通过加热工艺获得具有气体敏感增强效应的石墨烯/金属氧化物复合薄膜。本发明适用于气体传感器，实现对不同气体高灵敏度和高选择性探测。