简介： 本发明涉及一种气敏传感技术领域，特别是一种 制备氧化铁烟敏薄膜的方法。该方法采用金属有机 化合物五羰基铁[Fe(CO)]5作为反应源物质，采用常 压化学气相淀积法进行淀积，分别制备出掺杂和非掺 杂氧化铁烟敏薄膜。该薄膜在烟雾I级的浓度下，灵 敏度可达52，而在1000ppm的酒精、液化石油气，甲 烷气体和氢气的灵敏度仅为7.4、2.7、2.7和4.0，其灵 敏度高，选择性好，响应恢复时间快等特点均优于已 商品化的离子敏感烟探测器和烧结型气敏元件，具有 广泛的应用前景。