PCVD沉积制作光纤预制棒芯棒的方法
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PCVD沉积制作光纤预制棒芯棒的方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及一种PCVD沉积制作光纤预制棒芯棒的方法,其特征在于根据上一根被沉积的预制棒芯棒的截面积分布、折射率分布和折射率剖面,上一根预制棒芯棒不同时间被控制反应气体的流量,推算需要的截面积分布、折射率分布和折射率剖面实际需要的不同时间的被控制反应气体的流量,在芯棒沉积的不同径向和轴向位置,用快速流量控制模块和流量测量模块对反应气体的一种和多种进行精确流量控制,从而实现芯层的折射率、折射率剖面和截面积管内沉积的精确控制。本发明能改善微波等离子体化学气相沉积光纤预制棒芯棒参数,提高沉积衬管参数分布的均匀性,增加芯棒有效长度,降低制作成本。
本发明涉及一种PCVD沉积制作光纤预制棒芯棒的方法,其特征在于根据上一根被沉积的预制棒芯棒的截面积分布、折射率分布和折射率剖面,上一根预制棒芯棒不同时间被控制反应气体的流量,推算需要的截面积分布、折射率分布和折射率剖面实际需要的不同时间的被控制反应气体的流量,在芯棒沉积的不同径向和轴向位置,用快速流量控制模块和流量测量模块对反应气体的一种和多种进行精确流量控制,从而实现芯层的折射率、折射率剖面和截面积管内沉积的精确控制。本发明能改善微波等离子体化学气相沉积光纤预制棒芯棒参数,提高沉积衬管参数分布的均匀性,增加芯棒有效长度,降低制作成本。
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标签:化学分析
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