简介： 本发明公开了一种超纯无硼氨水的制备方法，包括依次且连续进行的如下步骤：（1）汽化；（2）净化过滤；（3）树脂吸附；（4）多级吸收；（5）除硼工艺；（6）超滤。上述方法所得的超纯无硼氨水中，大于等于0.5μm颗粒浓度小于3p/ml，大于等于0.2μm颗粒浓度小于30?p/ml，硼元素含量100PPT，单项金属离子含量小于30ppt，实测小于20ppt。本发明一种超纯无硼氨水的制备方法，工艺流程简单，容易实现，其通过硼特效树脂进行多级除硼操作，有效去除氨水中的硼元素，且该制备方法所用设备少，易于操作，生产成本低，为无硼化学品的开发奠定了基础。