亚微米球头电极制备装置及方法
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亚微米球头电极制备装置及方法
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简介: 一种亚微米球头电极制备装置及方法,属精密微细制造、测量领域。本发明运用液膜脉冲电化学加工方法可制备出表面质量好的亚微米探针,并在此基础上,通过瞬间微放电熔融、冷凝过程制备出亚微米球头工具电极。
一种亚微米球头电极制备装置及方法,属精密微细制造、测量领域。本发明运用液膜脉冲电化学加工方法可制备出表面质量好的亚微米探针,并在此基础上,通过瞬间微放电熔融、冷凝过程制备出亚微米球头工具电极。
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标签:化学分析
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