简介： 本发明公开了一种蓝宝石抛光工艺，包括如下步骤：原料预处理、精磨、抛光、清洗和测试等，该蓝宝石抛光工艺，该蓝宝石抛光工艺，通过原料预处理和精磨工艺将原料表面经行研磨，降低抛光时的难度，节约抛光时间，通过使用由三氧化二铝制成抛光液硬度高，且在与蓝宝石摩擦过程中产生化学反应从而使CMP有效进行，稳定性高，成本低，通过FA/O复合活性剂增加抛光液的稳定性，提高抛光表面的平整性和工作效率，通过实验，在压力为4psi、转速为60rpm/min和pH值为10时，抛去的去除速率为6um/hr，当压力值为5psi、转速为60rpm/min和pH值为10时，抛去的去除速率为8um/hr，本发明的工艺流程简单，且同时节约成本，值得以后推广。