简介： 本发明涉及CoSb3热电材料，特指一种CoSb3纳米颗粒薄膜的制备方法。首先按摩尔比1:3称量CoCl2·6H2O粉末和Sb粉末，分别装入各自坩埚中，并将坩埚和载玻片衬底置入石英管内；石英管置入水平管式炉内，多次抽真空和通入95%的氩气和5%的氢气的混合气，排除石英管内的氧气；管式炉升温，低压状态下，在载玻片衬底上化学气相沉积得到CoSb3纳米颗粒薄膜；测试其Seebeck系数、电导率以及热导率，计算其ZT值。本发明一步合成CoSb3纳米颗粒薄膜，工艺简单，所制备的CoSb3纳米颗粒直径在200-400nm，具有良好的导电率和较低的热导率，可直接用于热电研究，有望用于新型高效热电转换器件。