简介： 本发明涉及一种预压痕耦合抛光制备非晶合金表面微结构的方法，属于材料表面微结构加工领域。利用压痕测试仪器对抛光后的非晶合金表面进行阵列压痕试验，形成具有特定形状和尺寸参数的预压痕阵列；之后利用抛光液对含有预压痕阵列的非晶合金表面进行化学机械抛光，在这个过程中，预压痕区域会促使抛光颗粒的集聚，增强该区域的材料去除，从而在非晶合金表面形成具有纳米尺度深度的微结构；之后，利用丙酮对抛光后的表面进行清洗，即可得到微结构化的非晶合金表面。通过改变预压痕参数和抛光过程参数。可方便、快捷地制备具有不同结构形状和参数的微结构，在微纳光学、模具、微流控、生物医学、自组装、仿生表面科学等领域具有良好的应用前景。