简介： 本发明涉及一种离子束刻蚀制作电镜流体微元控温芯片的方法及产品，所述电镜流体微元控温芯片包括上片和下片，上片和下片均为正反面都设有绝缘层的硅基片，上片的正面与下片的正面通过粘结层固定粘结，上片、下片和粘结层共同构成一腔室；上片上设有第一视窗，下片上设有加热电极、进液口、出液口、加热丝和第二视窗，加热丝位于第二视窗内；本发明提供的电镜流体微元控温芯片可在第二视窗内直接观察到加热丝形貌，可用于流体局部温度变化的测量和对流体微元的反馈控温，便于使用者更好地了解微米纳米流体溶液中局部位置的热反应过程，流体微元间的相互作用以及微元部分温度变化对化学反应的影响。