简介： 本发明公开了一种耐摩擦的铂/石墨烯复合结构。该复合结构位于SiO2/Si衬底上，由石墨烯和金属铂的微结构阵列组成，其中石墨烯与衬底的SiO2层接触，金属铂的微结构阵列生长在石墨烯的表面。本发明将Pt金属微结构阵列与石墨烯构成一种复合耐摩擦结构，以提高石墨烯材料的摩擦特性。制备步骤：利用化学气体沉积方法在Cu箔上生长石墨烯材料，石墨烯材料的层数控制在4到10层之间，再采用FeCl3溶液腐蚀Cu箔并将石墨烯转移到SiO/Si衬底之上，然后利用掩模和磁控溅射的方法，在石墨烯的表面生长Pt金属微结构阵列。经摩擦－磨损测试表明，本发明的复合结构具有非常优良的摩擦性能，其制备方法简单，适合应用于一些需要耐摩擦的MEMS器件表面。