宽波段薄膜高吸收体、制备方法及装置
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宽波段薄膜高吸收体、制备方法及装置
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种可见到近红外波段高效光吸收体、制备方法及装置,该吸收体包括衬底和在衬底上依次沉积的金属薄膜层、电介质薄膜层和氮化钛薄膜层,所述氮化钛薄膜层表面为经过激光处理的颗粒表层。本发明利用飞秒激光照射金属‑电介质‑氮化钛薄膜,可诱导与空气接触的氮化钛薄膜层的化学反应,产生氧化物颗粒的堆积,形成粒径(几十到几百纳米)随机分布的氧化钛颗粒。本发明采用的氮化钛薄膜具有价格便宜、损伤阈值高等优点。利用激光处理表面形成自组织微纳结构具有偏振不敏感,制造工艺简单,可在任意指定位置快速制备任意形状的高吸收体等优点。本发明在太阳能收集、光催化增强、超快光电探测器件等领域具有广泛的商用前景。
本发明公开了一种可见到近红外波段高效光吸收体、制备方法及装置,该吸收体包括衬底和在衬底上依次沉积的金属薄膜层、电介质薄膜层和氮化钛薄膜层,所述氮化钛薄膜层表面为经过激光处理的颗粒表层。本发明利用飞秒激光照射金属‑电介质‑氮化钛薄膜,可诱导与空气接触的氮化钛薄膜层的化学反应,产生氧化物颗粒的堆积,形成粒径(几十到几百纳米)随机分布的氧化钛颗粒。本发明采用的氮化钛薄膜具有价格便宜、损伤阈值高等优点。利用激光处理表面形成自组织微纳结构具有偏振不敏感,制造工艺简单,可在任意指定位置快速制备任意形状的高吸收体等优点。本发明在太阳能收集、光催化增强、超快光电探测器件等领域具有广泛的商用前景。
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标签:化学分析
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