简介： 本实用新型公开了一种并行光纤收发模块，它包括一个激光器阵列、一个光探测器阵列、一个驱动电路板和一个二维光纤阵列，激光器阵列和光探测器阵列在驱动电路板上贴装成两列，分别与光纤阵列中的两列光纤对准耦合，并以胶水固定，二维光纤阵列基于一个双面刻蚀的定位基片制作，本实用新型产生的有益效果是：通过微电子工艺中的双面曝光技术，在一片石英玻璃的两面制作掩模图形，然后通过化学腐蚀工艺刻蚀出高精度的光纤定位槽阵列。微电子工艺中的双面曝光光刻机，可以保证同一面中掩模图形具有较高的定位精度，满足并行光纤收发模块中的技术要求。