简介： 本实用新型公开了一种基于微机电系统的垂直探针，包括探针主体，所述探针主体包括第一端部、第二端部，以及位于第一端部、第二端部之间，分别与第一端部、第二端部相连的弹性连接部，所述第一端部、第二端部、弹性连接部为一体结构，所述弹性连接部与所述第二端部形成连续的半圆弧状结构，所述探针主体采用光化学蚀刻制作而成。本实用新型的垂直探针的尺寸误差较小，产品的一致性较好，从而避免了在测试过程中由于尺寸误差导致的测试误差。