用于制备多晶硅的方法
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用于制备多晶硅的方法
来源：北方有色网
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简介： 本发明提供一种用于在化学气相沉积反应器中制备多晶硅的方法，其中，在反应器外部的至少一个反应器部件的至少一个位置，使用测量装置测量反应器的振动，并且任选地记录该振动。本发明还提供了一种用于实施该方法的反应器。
本发明提供一种用于在化学气相沉积反应器中制备多晶硅的方法，其中，在反应器外部的至少一个反应器部件的至少一个位置，使用测量装置测量反应器的振动，并且任选地记录该振动。本发明还提供了一种用于实施该方法的反应器。
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标签：化学分析
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