简介： 本发明属于化学气体纯化领域，公开了一种一种用于氮气、氧气、氩气和氦气的纯化装置及其工艺。装置包括原料气入口监测组，气体催化氧化组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口；工艺分为催化氧化工序和吸附工序；根据工况深度脱除原料其中的微量杂质氧、水、二氧化碳、一氧化碳、氢气和甲烷等杂质或其中某种或多种杂质，并可以起到过滤固体杂质的效果。