简介： 本发明提供一种钨靶材的镜面加工方法及其应用，所述镜面加工方法包括依次进行的磨床预磨、砂带机抛光以及化学机械研磨抛光。所述机械加工方法可以将钨靶材表面加工成反射率高的镜面，使得钨靶材可以采用宏观腐蚀来监测其晶粒均匀性，替代边料小样监测的方法。