简介： 一种形成超声换能器器件的方法包括：在衬底上形成膜堆并将该膜堆图案化，该膜堆包括金属电极层和形成在金属电极层上的化学机械抛光(CMP)停止层；在该图案化的膜堆上形成绝缘层；将该绝缘层平坦化到该CMP停止层；测量该CMP停止层的剩余厚度；以及在该图案化的膜堆上形成隔膜支撑层，其中，该隔膜支撑层形成的厚度取决于该CMP停止层的测得的剩余厚度，使得该CMP停止层和该隔膜支撑层的组合厚度对应于期望的换能器腔体深度。