半导体装置
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半导体装置
来源：北方有色网
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简介： 本揭露描述一种半导体装置。此半导体装置包含用以固持基板的吸盘、围绕吸盘的排放杯、以及侦测模组。排放杯用以捕获从基板喷洒的化学物质。侦测模组设置于排放杯与吸盘之间的空间中，且用以监测排放杯的多个侧壁。
本揭露描述一种半导体装置。此半导体装置包含用以固持基板的吸盘、围绕吸盘的排放杯、以及侦测模组。排放杯用以捕获从基板喷洒的化学物质。侦测模组设置于排放杯与吸盘之间的空间中，且用以监测排放杯的多个侧壁。
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标签：化学分析
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