简介： 本发明公开了一种日盲紫外光敏晶体管的制备方法，包括如下步骤：步骤1：将衬底进行预处理后，通过光刻剥离技术曝光显影出栅极小岛区域，并在所述栅极小岛区域蒸镀导电膜；步骤2：再通过光刻剥离技术曝光显影出第一堆叠小岛区域，并在所述第一堆叠小岛区域化学气相沉积绝缘层后，磁控溅射光敏层；步骤3：再通过光刻剥离技术曝光显影出第二堆叠小岛区域，并在所述第二堆叠小岛区域磁控溅射背沟道层后，蒸镀叉指电极层。采用背沟道刻蚀方法和叉指电极结构在保证光电探测范围的条件下，增强了器件电学性能，提高了光电探测特性，器件制备工艺简单，在紫外探测领域具有良好应用前景。