可扩展的生物芯片及其制造方法
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可扩展的生物芯片及其制造方法
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简介: 本发明提供了一种可扩展的生物芯片及其制造方法。生物芯片包括采用聚合物而接合在一起的流体部分和感测部分。流体部分在一侧上具有微流体通道图案且在另一侧上具有流体连接至微流体通道图案的流体入口和流体出口。在用牺牲保护层保护微流体通道图案之后,通过激光钻孔形成流体入口和流体出口。在低温下进行聚合物的接合而没有破坏感测部分的感测表面上的图案化的表面化学物。
本发明提供了一种可扩展的生物芯片及其制造方法。生物芯片包括采用聚合物而接合在一起的流体部分和感测部分。流体部分在一侧上具有微流体通道图案且在另一侧上具有流体连接至微流体通道图案的流体入口和流体出口。在用牺牲保护层保护微流体通道图案之后,通过激光钻孔形成流体入口和流体出口。在低温下进行聚合物的接合而没有破坏感测部分的感测表面上的图案化的表面化学物。
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标签:化学分析
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