简介： 本发明公开的一种基于超颖表面的光纤湿度传感器及其制作方法，属于传感和测量应用技术领域。本发明公开的光纤传感器主要由光纤、粘接剂、超颖表面和增敏物质组成。通过粘接剂将光纤端面和超颖表面固定在一起。增敏物质涂覆在超颖表面上。超颖表面由具有长方形横截面的不同尺寸、不同方位角的纳米孔阵列构成。所述光纤传感器采用具有不同旋转角度的金属微纳结构产生多个具有不同折射率灵敏度的谐振峰，通过监测谐振峰特征参数的变化能够实现多个传感参数的测量。本发明的制作方法有助于降低纤端光纤传感器的制作成本和制作周期。本发明具有小有效传感面积、多谐振峰、高鲁棒性的优点，应用于工业、农业、医疗和化学生物等领域。