简介： 用质子交换制造铌酸锂光波导的方法及其装置， 主要包括清洗衬底片、在衬底片上制备掩膜、光刻出波导图形、 质子交换、退火、端面抛光、波导调整与检查步骤。本发明由 于将质子交换的质子源采用用苯甲酸锂稀释的苯甲酸混合溶 液，根据质子交换的化学反应原理，在苯甲酸中掺入苯甲酸锂 增加了溶液中锂离子浓度，改变了反应中H+到Li+的平衡，使H+浓度降低，由此降低了反应速度和锂离子交换量，使波导与衬底的折射率差减小。结合退火得到更适于与光纤耦合的折射率分布，同时使苯甲酸的腐蚀作用降低，减少了波导缺陷，降低了波导自身的损耗。