简介： 本发明公开了一种三角形结构的微悬臂梁传感器,该传感器包括:用于支撑悬臂梁的衬底框架;至少一个固定于衬底框架上的悬臂梁结构;固定在构成所述悬臂梁结构的两个悬臂梁交叉成锐角端的反光板。本发明同时公开了一种三角形结构微悬臂梁传感器的制作方法。利用本发明,提高了测量的精度,在使用光学读出的系统中,使测量结果更加精确,并提高了成品率,易于实现大规模生产;在生物化学量的测量中,特别是在液体环境下的测量,可以得到广泛的应用。