简介： 一种液体供应系统，微影技术包含储存制程化学流体的储存槽、防撞框架以及集成感测器组件。储存槽包含位于储存槽在重力方向上的最下部分的分配口。防撞框架连接至储存槽。集成感测器组件设置在防撞框架以及储存槽的至少一个上，以测量因应流体品质测量的流体品质的变化。