集成光波导渐逝场传感器和用在这样的传感器中的基板的纵向部分
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集成光波导渐逝场传感器和用在这样的传感器中的基板的纵向部分
来源:北方有色网
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简介:
本发明涉及用于感测化学和/或物理量的集成光波导渐逝场传感器(1),其包括支撑波导层结构的基板(2),所述基板设置有:-波导核心层(10),其夹在由具有比波导核心层(10)更低的折射率的下覆层(11)和上覆层(12)形成的两个覆层(11、12)之间;-感测部分(14A、14B),其包含被包括在上覆层(12)中的感测层(13),其中所述基板的包括所述波导层结构以及所述感测部分(14A、14B)的纵向部分作为单独元件(20)是可更换的。
本发明涉及用于感测化学和/或物理量的集成光波导渐逝场
传感器
(1),其包括支撑波导层结构的基板(2),所述基板设置有:-波导核心层(10),其夹在由具有比波导核心层(10)更低的折射率的下覆层(11)和上覆层(12)形成的两个覆层(11、12)之间;-感测部分(14A、14B),其包含被包括在上覆层(12)中的感测层(13),其中所述基板的包括所述波导层结构以及所述感测部分(14A、14B)的纵向部分作为单独元件(20)是可更换的。
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标签:化学分析
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