电镀银电极太阳电池制备方法
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电镀银电极太阳电池制备方法
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简介: 一种电镀银电极太阳电池制备方法,包括:一:对硅片抛光处理;二:采用HF/HON3腐蚀的方法进行硅片表面的绒面制作,化学清洗及甩干;三:在电池正反面同时进行磷掺杂,完成PN结;四:使用In-line式酸法腐蚀设备完成边缘PN结的隔离,去除表面的磷硅玻璃;五:在电池正反面同时进行热氧化,进行SiO2膜的制备;六:用PECVD在电池正反面进行SiN膜的制备;七:电池正反面进行正面银电极和背面银电极的制作;八:完成银硅合金的合金化;九:完成电池片的初步测试,包括功率测试,导电性能测试,强度测试;十:对电池正反面的银电极同时镀银,增加栅线的高度;十一:对电镀后的片子进行烘干;十二:对电池进行第二次效率测试并分档包装。成本低,制备方便可靠。
一种电镀银电极太阳电池制备方法,包括:一:对硅片抛光处理;二:采用HF/HON3腐蚀的方法进行硅片表面的绒面制作,化学清洗及甩干;三:在电池正反面同时进行磷掺杂,完成PN结;四:使用In-line式酸法腐蚀设备完成边缘PN结的隔离,去除表面的磷硅玻璃;五:在电池正反面同时进行热氧化,进行SiO2膜的制备;六:用PECVD在电池正反面进行SiN膜的制备;七:电池正反面进行正面银电极和背面银电极的制作;八:完成银硅合金的合金化;九:完成电池片的初步测试,包括功率测试,导电性能测试,强度测试;十:对电池正反面的银电极同时镀银,增加栅线的高度;十一:对电镀后的片子进行烘干;十二:对电池进行第二次效率测试并分档包装。成本低,制备方便可靠。
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标签:化学分析
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